电子行业智能化顺序在线监测系统

      电子行业粒子实时在线监测系统除了可选择无线监测系统外，还可以采用Manifold顺序粒子在线监测系统，这是一个较为经济的方案。该系统配有32个采样口（即可全选也可部分选择使用），系统依次对每个监测点进行采样，采样轮回周期取决于监测点数量，最小监测粒径可达0.1μm。亦可搭配无线系统使用。

*多路监控多达32个点的位置                    

*自净时间短

*双向控制能力

*多点采样较为经济

*采样管路可长达38.1米

*采样点顺序可编程

*可与流量为28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便携式粒子计数器相兼容

*综合控制器的低复杂性

*双向控制能力

*使用压力传感器以确保真空流量

*双向步进马达控制方向

 

数据实时监控，报警

数据趋势分析

数据报告导出

3级权限管控

具备后期的扩展性

支持邮件发送

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