电子半导体生产环境超洁净解决方案

　　随着半导体制程技术的飞速发展，芯片线宽已经进入纳米级。与此同时，气态分子污染物(AMC)也比颗粒污染物小了几个数量级，逐渐取代颗粒污染物成为影响产业制程产率的关键因素之一。对微电子半导体制造业来说，气态污染物会危害生产工艺的关键环节，造成半导体晶体表面的氧化和侵蚀，引起成品合格率降低。因此，微电子厂房内分子级空气污染的控制也越来越重要。

　　亿天净化公司提供电子半导体生产环境超洁净解决方案，提供空气质量检测、控制和监测等服务。亿天公司的化学过滤器、粉尘过滤器、AMC化学污染物在线监测系统、电子半导体生产环境智能在线监测系统、微粒子可视化系统、粒子计数器、AMC检测柜、智能FFU等产品，高效节能降耗，为电子半导体生产提供全方位的洁净、节能的空气解决方案，提高产品质量和产品良率。